Neste minicurso serão apresentados os conceitos físicos e os modelos matemáticos que descrevem o comportamento óptico de filmes finos transparentes e semitransparentes. Estes conceitos e modelos, em conjunto com as propriedades de polarização da luz, fundamentam a aplicação da técnica de elipsometria espectrofotométrica como poderosa ferramenta para caracterização de filmes finos. Através desta técnica não destrutiva é possível determinar com grande precisão as funções dielétricas do material e, por conseguinte, os observáveis ópticos como índice de refração e coeficiente de extinção/absorção, ao mesmo tempo em que se determina com grande acuidade a espessura das camadas que podem variar de poucos nanômetros até dezenas de micrômetros.
Neste contexto, os aspectos práticos da configuração do equipamento, da realização das medidas, e da análise de resultados também compõe parte importante do minicurso. Também serão apresentados exemplos práticos de resultados obtidos no elipsômetro HORIBA UVISEL 2, de última geração, instalado nas dependências do Laboratório de Plasmas e Processos do ITA.
Este minicurso será conduzido pelo Prof. Dr. Douglas Leite e Prof. Dr. André Pereira, pesquisadores no Laboratório de Plasmas e Processos (LPP) e docentes do Instituto Tecnológico de Aeronáutica (ITA).
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